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한양대학교전기·생체공학부 전기공학전공

플라즈마전자공학 연구실

정진욱 교수 (Chin Wook Chung)

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연구실 소개

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연구 분야
반도체 소자디스플레이

플라즈마 전자공학 · 반도체 및 LCD 공정 장비 제어 · 반도체 디스플레이 공정용 플라즈마 해석 및 설계 제작 · 공정 플라즈마 진단 & 공정 지능형 모니터링 기술 · 플라즈마 전자공학 응용 분야

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